5850EMH / 5851EMH
來自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合金屬密封泄漏完整性,為高溫氣體測量和控制提供了性能,具有多種選擇,允許應用靈活性。5850EMH 系列的核心是穩定的傳感器,其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。
特點
- 泄漏完整性(小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)
- 寬流速范圍(0.003 – 100 slpm)
- 高純度 VAR 316L 不銹鋼
- 無磨粒
- 氦泄漏檢查端口
- 常閉閥(可選常開閥)
- 電致動閥復位
- 低命令流量斷流
- TTL 兼容”關閥”功能
優勢
- 穩定、可靠的產品平臺
- 高流量,高達 100 lpm(N2 當量)
- 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
- 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修
應用
- 光纖制造——MCVD,OVD,AVD
- 水汽流量控制