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GF100 和GF120系列金屬密封熱質量流量控制器

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京北方大河儀器儀表有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/10/27 9:56:56
  • 訪問次數291
產品標簽:

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自1970年起,德國斯拉特(Thyracont)公司開始研發和生產從大氣壓到超高真空度的各類高質量真空計,Thyracont真空計全部由高素質人員在德國開發、制造和校正。產品范圍包括:小型數字真空表、真空規、真空控制器和真空開關。復雜的測試程序保證了上述產品系列使用壽命長、可靠和精確的標準。公司以可持續發展為目標,并以高標準要求,從而成就了Thyracont產品經久耐用的品質.VD8系列 – 小型數字真空表/數據記錄器小型便攜真空表,測量范圍 1600 -5e-4 mbar,?配有內存和USB接口,便于數據導出(比如,滲漏測試),電源或電池供電應用范圍:真空泵試驗和生產設備、滲漏檢測,固定式真空傳感器調整;真空泵和儀表的服務和保養;特殊型號的真空包裝機;真空濃縮器;真空離心機;制冷設備和空調的充填。_Smartline系列– 真空傳感器,顯示器和控制單元智能真空計,測量范圍 1000 ? 1e-9 mbar, 在線輸出0?10 V和RS485 輸出,脈沖皮拉尼、皮拉尼/冷陰極、皮拉尼/熱陰極技術,合適的一或多通道顯示和控制單元應用范圍: 冷凍干燥(凍干),真空鍍膜,薄膜蒸發器,真空爐,真空冶金,光譜儀,硅爐(塊),半導體,晶片鍵合,真空收集器,真空絕緣材料_Analogline系列 – 真空傳感器,顯示器和控制單元緊湊型壓電電阻和皮拉尼傳感器,測量范圍 1000 ?1e-3 mbar,4 – 20mA 輸出,合適的顯示器和控制單元,連續閥門應用范圍:真空爐,薄膜蒸發器,真空包裝,化工,工藝工程,過程自動化,工業真空設備__VRC/VRP系列 – 電真空開關(帶繼電器輸出)工業開關,測量范圍1200-1e-3 mbar,直接開關泵和閥門,供惡劣環境下使用的IP54防護盒s應用范圍:真空設備控制,真空泵和其它設備的操作,安全開關,輔助性泵開關,工藝學,廠房施工控制等。 北京北方大河儀器儀表有限公司成立于2002年,專業經營進口儀器儀表,我們代理的品牌有德國Thyracont真空計,德國Prignitz壓力傳感器/壓力變送器,美國Orange Research差壓表/流量計/開關及變送器,美國ONICON流量計,芬蘭HK INSTRUMENTS壓差變送器/壓差表,美國Fathom氣體質量流量計/質量流量控制器,美國BROOKS質量流量計,意大利Deltaohm,美國Lighthouse等,產品廣泛應用于真空設備、過濾系統、壓縮機、液化儲蓄罐、樓宇自控、空調制冷系統、氣象監測、環境保護、潔凈廠房及工業現場等。
真空計
GF100/GF101/GF120/GF120XSL/GF120XSL/GF121GF100系列金屬密封熱質量流量控制器和儀表GF100系列金屬密封質量流量控制器和儀表性能:快速響應和可重現的高純度/超高純度過程氣體輸送
GF100 和GF120系列金屬密封熱質量流量控制器 產品信息

GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121

GF100 系列金屬密封熱質量流量控制器和儀表

GF100 系列金屬密封質量流量控制器和儀表性能:快速響應和可重現的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導體、MOCVD 等其他氣體流量控制應用設計,GF100 系列在可靠性方面優于半導體行業標準水平,可確保測量結果可重現并且長時間使用后性能依然高度穩定。一臺采用標準 MultiFlo™ 技術的 MFC 即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。

結果:提高工藝靈活性和效率輔以業內純度的過程氣體,有助于限度提高產率和生產效率。

gf100

特點

    • 長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
    • 穩定時間:700 ms – <1 秒
    • 滿量程流速高達 300 slpm
    • 全金屬密封流路:可選擇采用 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面處理的流路
    • 耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器可提升高溫下測量結果的可重現性
    • MultiFlo™ 氣體和量程設定功能 — 一臺設備即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
    • 本地顯示屏
    • 可選 SDS 氣體輸送
    • DeviceNet™、RS-485 L-協議和模擬接口

優勢

      • 按照半導體行業標準對高性能組件進行七次連續測試以確保其可靠性
      • 表面積和未吹掃體積更小的全金屬耐腐蝕流路可確保流路在吹掃步驟更快干燥
      • MultiFlo™ 技術可在 60 秒內完成新過程氣體和/或量程的設定操作 – 不再需要拆除并校準 MFC
      • 高度可配置平臺可使大部分品牌的金屬密封 MFC 實現插入式更換和升級,適用范圍包括早期的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌產品
      • GF120 安全輸送系統 (SDS®) 是布魯克斯儀器公司低壓損質量流量控制器,適用于輸送注入和勢壘層腐蝕過程中使用的次大氣壓安全輸送系統 (SDS) 氣體
      • 便捷的用戶顯示屏和獨立的診斷/維護端口有助于設備安裝、監測和故障排除

應用

    • 半導體蝕刻工具
    • 薄膜化學氣相沉積系統(CVD、MOCVD、PECVD、ALD)
    • 物理氣相沉積 (PVD) 系統
    • 外延工藝系統

      特點

        • 長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
        • 穩定時間:700 ms – <1 秒
        • 滿量程流速高達 300 slpm
        • 全金屬密封流路:可選擇采用 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面處理的流路
        • 耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器可提升高溫下測量結果的可重現性
        • MultiFlo™ 氣體和量程設定功能 — 一臺設備即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
        • 本地顯示屏
        • 可選 SDS 氣體輸送
        • DeviceNet™、RS-485 L-協議和模擬接口

      優勢

          • 按照半導體行業標準對高性能組件進行七次連續測試以確保其可靠性
          • 表面積和未吹掃體積更小的全金屬耐腐蝕流路可確保流路在吹掃步驟更快干燥
          • MultiFlo™ 技術可在 60 秒內完成新過程氣體和/或量程的設定操作 – 不再需要拆除并校準 MFC
          • 高度可配置平臺可使大部分品牌的金屬密封 MFC 實現插入式更換和升級,適用范圍包括早期的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌產品
          • GF120 安全輸送系統 (SDS®) 是布魯克斯儀器公司低壓損質量流量控制器,適用于輸送注入和勢壘層腐蝕過程中使用的次大氣壓安全輸送系統 (SDS) 氣體
          • 便捷的用戶顯示屏和獨立的診斷/維護端口有助于設備安裝、監測和故障排除

      應用

        • 半導體蝕刻工具
        • 薄膜化學氣相沉積系統(CVD、MOCVD、PECVD、ALD)
        • 物理氣相沉積 (PVD) 系統
        • 外延工藝系統

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