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3D激光干涉儀--同步測量被測物體的位移、偏擺角和俯仰角


激光器和鏡組	數據處理器	光學鏡組

世界范圍內，同類產品中效率精度的干涉儀。

三軸路外差式激光干涉儀，用于位移、俯仰角和偏擺角的同步測量
高靈活性調整模塊，方便安裝和拆卸
動態測量速度4m/s，實時顯示三個軸路的測量數據
小型反射鏡，帶有磁性固定裝置
適用于筆記本電腦、PCI和PXI數據處理器安裝，與網絡兼容
使用高精度溫度傳感器進行數據補償
激光器穩頻精度：一小時：2x10^9（±0.002ppm），壽命內：2x10^8（±0.02ppm）
數據同步精度：20ns
所有3軸實時數據測量，無延時
可定制小型反射鏡
外部觸發頻率40MHz

技術參數

位移測量范圍	15 m
位移測量分辨率	1.25 nm
位移測量精度	+/-0.4 ppm（需使用環境補償器）
位移測量速度	2 m/s
位移速度測量精度	1 ppm
角度測量范圍	+/-10°
角度測量分辨率	0.012角秒
角度測量精度	+/-0.1 ppm（角度沿某中心旋轉） +/-0.02%+/-0.5+/-0.1M（M=軸向標定距離，單位為米）
角度測量速度	90 rad/s
角速度測量精度	1 ppm

上圖為從一個坐標軸方向同步測量物體的位移、偏擺和俯仰角光路圖

上圖為一個具體的3-軸干涉鏡和3-軸反射鏡系統，光束由激光頭發出后進入干涉鏡，3-軸干涉鏡把輸入的光束分為三個部分：

信號光束1用于位移的測量，信號光束2用于俯仰角的測量，信號光束三用于偏擺角的測量。

所有的光束照射到被測物體（3-軸反射鏡固定在被測物體上）后再次反射到干涉鏡上，每個信號光束與反射的光束進行干涉，然后干涉光束傳輸到激光頭里，進行信號分析后進入到軟件里。


三軸測量軟件（位移、偏擺和俯仰角）	三角關系的設定

測量結果的統計	在位置5開始測量

位移和角度的*測量	ISO230數據統計標準