沈陽芯源微電子設備股份有限公司
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KS-FT200/300系列堆疊式高產能前道涂膠顯影機，為我司自主研發的突破晶圓前道28nm工藝節點及以上工藝制程，適用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多種材料涂覆顯影工藝的機臺。支持與光刻機聯機作業。該系列機臺通過各種行業認證，占地面積小、可靠性高、易于維護，滿足各種功能芯片制程需求。
1. 堆疊式高產能架構，占地面積小
2. 可與光刻機聯機，滿足工廠自動化需求
3. 配備多段回吸的多腔體共用供膠系統，有效節省光刻膠的用量
4. 選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件，滿足更高標準工藝需求
5. 核心單元模塊化設計，組合方式靈活多變，限度客制化
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