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深圳市中圖儀器股份有限公司


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SJ6000激光干涉儀光學測量儀器中圖儀器(chotest)

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產品型號SJ6000

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更新時間:2023-03-20 13:49:42瀏覽次數:473次

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產品簡介

SJ6000激光干涉儀光學測量儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量

詳細介紹

SJ6000激光干涉儀光學測量儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。它集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。
 

產品功能

1.SJ6000激光干涉儀光學測量儀器可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
2.可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
3.可實現對機床回轉軸的測量與校準;
4.可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
5.具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;
6.支持手動或自動進行環境補償。
 
 

產品參數

產品型號: SJ6800
產品名稱: 激光干涉儀
穩頻方式: 雙頻激光雙縱模熱穩頻
穩頻精度: 0.04ppm
測量距離:≤(0-80)m(無需遠距離線性附件)
測量分辨力:1nm
測量至大速度:4m/s
線性測量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃
角度測量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)
主要特點:測量、恒測力、無阿貝誤差

SJ6000激光干涉儀光學測量儀器在動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

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