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顯微鏡搬運機-AMX8R

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更新時間：2022-01-19 08:50:20瀏覽次數：439次

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全自動的操作系統，極大地減少人為干預；快速、高效的操作流程，滿足客戶產能要求；配備國內優質顯微鏡觀測系統，實現觀察和測量的高精度要求，是芯片制造廠的

項目

規格描述

晶圓尺寸

4、6、8寸（可選）

晶圓最小厚度

150um

晶舟類型

開放式晶舟(SEMI Stad.25(26)-slot)

晶舟載臺數量

1

檢查模式設置

全檢 / 奇數檢 / 偶數檢 / 手動選擇

晶舟內晶圓掃描

有

晶圓預定位

有

晶圓定位平邊及Notch方式

非接觸式

晶圓定位平邊及Notch

Notch/平邊

檢查功能

微觀檢查、晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查1、晶背宏觀檢查2

金相顯微鏡控制臺

有

全自動載物臺

有

全自動載物臺控制臺

有

全自動載物臺功能

自動傳送、檢查模式設置、自動定點、手動定點、自動復歸

顯微鏡

金相顯微鏡標準配置及功能

機臺全尺寸

1800*700*1200

W1*D1*H

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