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SJ6000激光干涉儀采用美國進口高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術，實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強、*穩定性好的激光輸出；采用高精度環境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量；結合相應鏡組還能實現角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉軸等參數的測量，并進行動態分析。 

SJ6000激光干涉儀性能特點：
 

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

SJ6000激光干涉儀功能：
 

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉軸等參數的精密測量，并能對設備進行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態性能分析。

在相關軟件的配合下，可自動生成誤差補償方案，為設備誤差修正提供依據。

SJ6000激光干涉儀技術參數：
 

      系統性能

²    測量方式：單頻

²    穩頻精度：0.05ppm

²    動態采集頻率：50 kHz

²    預熱時間：約6分鐘

²    工作溫度范圍：(0~40)℃

²    環境溫度范圍：(0~40)℃，環境濕度：(0~95)%RH

²    存儲溫度范圍：(-20~70)℃

      環境補償示值誤差

²    空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    空氣濕度傳感器：±6%RH  (0~95) %RH

²    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線性測量

²    測量距離：(0~40)m

²    測量精度：0.5ppm (0~40)℃

²    測量分辨力：1nm

²    測量zui大速度：4m/s

      角度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量范圍：±10°

²    測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)

²    測量分辨力：0.1″

      平面度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量范圍：±1.5 mm

²    測量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm

      直線度測量

²    軸向量程：(0.1~4.0)m

²    測量范圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm

      垂直度測量

²    軸向量程：(0.1~3.0)m

測量范圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm/m

      回轉軸精度測量

²    角度測量范圍：(0~360)°

²    測量精度：±1″

zui高轉速：10rpm

鋰電池供電，藍牙傳輸數據。

 SJ6000激光干涉儀配置清單：