INFICON 貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG402-S型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真空計,價格經濟,且可重復測量基準壓力。傳感元件自帶的在軌校準數據在更換傳感器時確保了高再現性。
益處
- 測量范圍非常廣,從 5×10-10毫巴至大氣壓(8×10-10 托至大氣壓)
- 10-8… 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
- 皮拉尼聯鎖保護單絲,防止過早燒毀
- 兩根使用壽命長的氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調節,減少操作員干預
- 易于更換的傳感元件與板載校準數據確保高再現性
- RoHS 合規
典型應用
- 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
- 工業鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制