奧坤鑫（蘇州）機電科技有限公司
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編號項目技術參數1機臺整機規格1400(W)×1720(H)×1100(D)mm2真空室規格550(W)×635(H)×535(D)mm3電極板規格進口鋁電極532(L)×412(W)mm4控制系統觸摸屏+PLC控制5真空測定系統皮拉尼電阻式真空計6氣體計量系統精確質量流量控制計MFC7氣體路數2路進氣，1路放空8等離子發生器500W1KW等離子體發生源，40KHz（可選13.56MHz）9工作氣體2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2特 點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的···
編號 | 項目 | 技術參數 |
1 | 機臺整機規格 | 1400(W)×1720(H)×1100(D)mm |
2 | 真空室規格 | 550(W)×635(H)×535(D)mm |
3 | 電極板規格 | 進口鋁電極532(L)×412(W)mm |
4 | 控制系統 | 觸摸屏+PLC控制 |
5 | 真空測定系統 | 皮拉尼電阻式真空計 |
6 | 氣體計量系統 | 精確質量流量控制計 MFC |
7 | 氣體路數 | 2路進氣，1路放空 |
8 | 等離子發生器 | 500W&1KW等離子體發生源，40KHz（可選13.56MHz） |
9 | 工作氣體 | 2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2 |
特 點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持。 | ||
用 途：適用于攝像頭及行業，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。 | ||
1、攝像頭、指紋識別行業：軟硬結合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔； 2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗 ； 3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。 | ||
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