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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司


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Cchip-0019高深寬比紫外光刻機

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時間：2023-07-03 13:49:49瀏覽次數(shù)：516次

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產(chǎn)品簡介

微流控芯片的設(shè)計結(jié)構(gòu)一般深寬比較大，針對微流控芯片這一特點，中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)了Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機。該設(shè)備采用目前的LED光源，紫外波長365nm，光源純度高，輻射能量均一可調(diào)...

詳細介紹

1. 產(chǎn)品簡介：

微流控芯片的設(shè)計結(jié)構(gòu)一般深寬比較大，針對微流控芯片這一特點，中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)了Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機。該設(shè)備采用目前最*的LED光源，紫外波長365nm，光源純度高，輻射能量均一可調(diào)。設(shè)備配有智能化觸摸屏操作面板，外觀比較傳統(tǒng)光刻機體積更小，集成化度更高，不僅簡化了操作流程，還進一步提高了工藝效率。

不僅如此，我們還對曝光系統(tǒng)進行了優(yōu)化，將曝光過程中衍射誤差降到極限，保證圖案設(shè)計值與實際值一致，從而為芯片制作保駕護航。

以下是客戶實測圖片，結(jié)構(gòu)高度92um，間距20um，請參考！

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