F200膜厚測量儀

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地蘇州市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-07-03 12:02:45瀏覽次數(shù)：192次

聯(lián)系我時，請告知來自包裝印刷網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  儀器設(shè)備

光刻機

等離子清洗機

電暈機

烘箱

真空裝置

Harvard注射泵

膜厚測量儀

恒壓泵

芯片封合設(shè)備

國產(chǎn)注射泵

勻膠、烤膠

成像系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：113條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

采用光譜干涉原理，利用膜結(jié)構(gòu)上下表面反射形成的干涉光譜分布，實現(xiàn)對膜結(jié)構(gòu)的高精度測量，具有非接觸、無破壞、快速等特點。...

詳細介紹

1. 膜厚測量儀的特點

1）采用光譜干涉原理進行測量，具有非接觸、無破壞、快速等特點；

2）可在真空環(huán)境使用；

3）可與大行程工件臺配合，實現(xiàn)大面積膜厚自動測量（下方左圖是系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，右圖是光譜分布）。

系統(tǒng)結(jié)構(gòu).png 光譜分布.png

2. 膜厚測量儀的技術(shù)參數(shù)：

1）膜厚儀：測量范圍： 20nm—80μm；
2）光譜范圍：380nm—950nm；
3）測量重復性*1（RMS）：0.4nm；
4）測量精度*2（與橢偏儀對比）：2nm或1%（以值為準）；
5）入射角度：90°；
6）測試材料：透明或半透明薄膜材料；
7）光斑尺寸：標準1.5mm，20μm（選配）；
8）測量時間：100ms—4ms；
9）通信接口：USB2.0；
10）測試膜層層數(shù)：單層
11）材料庫：有