上海衡鵬企業發展有限公司
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STK-6050落地式高級自動晶圓減薄貼膜機特點：4"-8"晶圓適用設計的滾輪貼膜自動膠膜進給及貼膜手動晶圓上下料自動切割膠膜
STK-6050 落地式高級自動晶圓減薄貼膜機特點： |
4" - 8"晶圓適用 |
設計的滾輪貼膜 |
自動膠膜進給及貼膜 |
手動晶圓上下料 |
自動切割膠膜，省力 |
藍膜、UV 膠膜可選 |
PLC+觸摸屏 |
配置光簾保護功能，和緊急停機按鈕 |
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態監控 |
STK-6050 落地式高級自動晶圓減薄貼膜機性能： |
晶圓收益 | ≥99.9% |
貼膜品質 | 沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡） |
Cycle Time： | ≤ 45 秒（不包含上料/下料時 間） |
MTBF | >168小時 |
MTTR | <1小時 |
停機時間 | <3% |
更換產品時間： | ≤ 10 分鐘 |
STK-6050 落地式高級自動晶圓減薄貼膜機參數： |
晶圓直徑： | 4"- 8"晶圓 |
晶圓厚度： | 100~750 微米 |
晶圓種類： | 硅, 砷化鎵或其它材料/單平邊,雙平邊,V 型缺口； |
膜種類： | 藍膜或者 UV 膜 |
貼膜方法： | 滾輪貼膜 |
晶圓臺盤： | 接觸式晶圓臺盤 |
晶圓臺盤加熱： | 可達 120℃ (對應接觸式臺盤，可 選 |
晶圓放置精度： | X-Y: +/- 0.5 毫米； Θ : +/- 0.5°； |
裝卸方式： | 手動晶圓放置與取出；晶圓在位置檢測； |
防靜電控制： | 去離子風扇 |
切割系統： | 自動刀 |
控制單元： | 基于 PLC 控制，10.4"觸摸屏 |
電源電壓： | 單相交流電 220V,10A； |
壓縮空氣： | 60 PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺 |
燈塔： | 三色燈塔和蜂鳴器，用于操作狀態監測 |
安全： | 配置安全光簾和緊急停機開關； |
體積： | 950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) |
凈重： | 300 公斤 |
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