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桌上型-可程式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地東莞市

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更新時(shí)間：2023-06-29 13:55:57瀏覽次數(shù)：153次

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所在地區(qū)：

聯(lián)系人：楊小姐

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備概要：適用尺寸：6"~8"Wafer基材

詳細(xì)介紹

設(shè)備概要：
適用尺寸：6"~ 8"Wafer基材。
基本規(guī)格：
Demension:530X600X450mm
外觀材質(zhì)：PP板組合焊接而成，可以耐酸堿侵蝕。
操作盆罩：SUS制，圓盆型設(shè)計(jì)。
盆罩掀蓋：分離式透明PVC上蓋。
吸盤規(guī)格：一組鋁制吸盤精密研模陽(yáng)極保護(hù)。
操作方式：手動(dòng)直接輸入。
入料方式：手動(dòng)給料。
液體種類：光阻劑、溶劑。
馬達(dá)：AC Servo Motor（轉(zhuǎn)速：10~5000 RPM）。
含真空幫浦（附PP防塵外罩）。
真空滲液保護(hù)：有，間接式防護(hù)設(shè)計(jì)。
真空簡(jiǎn)檢知：有（可數(shù)位設(shè)計(jì)真空值kpa下限保護(hù)）。
保護(hù)裝置：有。
保護(hù)制御：有一本裝置的全部狀態(tài)，異常檢出。
控制系統(tǒng)：-軟件：PLC。
真空表頭：二組視窗，可顯示設(shè)定值與實(shí)際值。
使用操作界面：中文彩色觸控面板。
配方模塊：100組配方設(shè)定。
段方步序：每一配方模塊均設(shè)30段步序。
操控方式：7寸中文彩色觸控人機(jī)界面系統(tǒng)，附有繁體、簡(jiǎn)體中文、英文操作界面，并有主軸轉(zhuǎn)速曲線圖。
電源：?jiǎn)蜗?20V，10A。
附操作手冊(cè)一份

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