基本規格：
1.腔體及機架：
A. Chamber and Frame:
腔體尺寸：約300mm（D）x300mm（W）x 250mm（H）（以實際設計為主）
Chamber material：鋁A6061
2.抽氣系統：
A. Pump：
a）干式真空幫浦（Dry Pump）=>For Chamber
model:Edwards iXL120
排氣速度：65 cfm
B. Valve and Piping:（氣動閥件）
Rough Valve:NW 50 Angle Valve×1
For vent：?1/4"Gas valve×1（CDA vent）
For gas：?1/4"Gas valve×1
手動閥（供斷電泄氣用）：?1/4"valve×1
3.測量：
真空測量：Convectron gauge，measuring range: 760 Torr ~ 10-3 Torr
ATM Sensor×1pc
4.基板乘載機構：
size：可置入200mm×2000mm玻璃，single piece
制程壓力：可穩定于1pa，采用手動閥微調。
5.控制系統：
制程可使用全電腦控制，自行設定制程參數控制系統：
*PLC（三菱）控制系統+ PC control＋15"Touch Monitor
自動抽氣、自動泄氣程序設定
電腦即時設定真空度及氣體流量設定，即時顯示并記錄真空度及氣體流量設定
電腦即時顯示并記錄真空度及氣體流量設定之曲線圖，并可設定曲線之取樣頻率及范圍
可由電腦打印真空度及氣體流量設定之曲線圖及Data并可輸出為計算機檔案
可查詢整年度之歷史數據，顯示并記錄機臺所有異常數據（包括異常內容及異常時間）
可由電腦設定使用者權限管理（包含：TE、EE、PE、ME）
可由電腦自動執行腔體漏率測試，即時顯示并記錄測試結果
所有參數設定可自行設定誤差值誤差時間并提供警報
提供彈性化制程氣體及管路設定控制界面，配合權限管理可自由增加或減少制程氣體
