杭州華盼科技有限公司
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簡要描述：用于各種放電形式的等離子體診斷。
MMLAB-prb系列系列朗繆爾探針系統
等離子體診斷：MMLAB-prb系列朗繆爾探針系統
MMLAB-prb系列朗繆爾探針系統基于虛擬儀器原理設計，簡化了硬件結構，抗干擾性強，工作可靠，能夠用于各種放電形式的等離子體診斷。其中MMLAB-prb1型為通用型；MMLAB-prb1a型為功能擴展型，可用于診斷射頻等離子體；MMLAB-prb2型是雙探針型，可適用于無極放電等離子體，對等離子體擾動小；MMLAB-prb3型是三探針型，可用于等離子體快速診斷（可達亞微秒級）及等離子體參數實時監控； MMLAB-prb-hmc型是諧波探針型，可用于絕緣薄膜沉積環境的等離子體診斷和等離子體參數實時監控； MMLAB-prb-ems型是發射探針型，用于準確測量等離子體及鞘層內的空間電勢。
基于虛擬儀器的朗繆爾探針等離子體診斷方法已申報國家發明。儀器已在國內外多家實驗室和企業的等離子體設備上獲得了應用。
MMLAB-prb系列朗繆爾探針系統的軟件界面友好，操作簡便，診斷與數據處理全過程自動完成，不需要人工對數據進行處理和計算。左圖是探針系統的結構示意圖，右圖是MMLAB-prb1通用型探針的軟件操作界面。
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