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自動(dòng)橢圓偏振測厚儀

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產(chǎn)品型號(hào)EX2

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更新時(shí)間：2023-08-23 14:59:46瀏覽次數(shù)：249次

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杭州華盼科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：EX2自動(dòng)橢圓偏振測厚儀是一款自動(dòng)測量型教學(xué)儀器。

詳細(xì)介紹

EX2自動(dòng)橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測量原理，針對(duì)納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款自動(dòng)測量型教學(xué)儀器。

EX2儀器適用于納米薄膜的厚度測量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時(shí)測量。

EX2儀器還可用于同時(shí)測量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點(diǎn)：

經(jīng)典消光法橢偏測量原理

儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。

方便安全的樣品水平放置方式

采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。

緊湊的一體化結(jié)構(gòu)

集成一體化設(shè)計(jì)，簡潔的儀器外形通過USB接口與計(jì)算機(jī)相連，方便使用。

高準(zhǔn)確性的激光光源

采用激光作為探測光波，測量波長準(zhǔn)確度高。

豐富實(shí)用的樣品測量功能

可測量納米薄膜的膜厚和折射率；塊狀材料的復(fù)折射率、樣品反射率、樣品透過率。

便捷的自動(dòng)化操作

儀器軟件可自動(dòng)完成樣品測量，并可進(jìn)行方便的測量數(shù)據(jù)分析、儀器校準(zhǔn)等操作。

安全的用戶使用權(quán)限管理

軟件中設(shè)置了用戶使用權(quán)限（包括：管理員、操作者等模式），便于儀器管理和使用。

可擴(kuò)展的儀器功能

利用本儀器，可通過適當(dāng)擴(kuò)展，完成多項(xiàng)偏振測量實(shí)驗(yàn)，如馬呂斯定律實(shí)驗(yàn)、旋光測量實(shí)、旋光等。

應(yīng)用

EX2適合于教學(xué)中單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

EX2可測量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲(chǔ)、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。

技術(shù)指標(biāo):

項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
儀器型號(hào)	EX2
測量方式	自動(dòng)測量
樣品放置方式	水平放置
光源	He-Ne激光器，波長632.8nm
膜厚測量重復(fù)性^*	0.5nm (對(duì)于Si基底上100nm的SiO₂膜層)
膜厚范圍	透明薄膜：1-4000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān)
折射率范圍	1.3 – 10
探測光束直徑	Φ2-3mm
入射角度	30°-90°，精度0.05°
偏振器方位角讀數(shù)范圍	0-360°
偏振器步進(jìn)角	0.014°
樣品方位調(diào)整	Z軸高度調(diào)節(jié)：12mm 二維俯仰調(diào)節(jié)：±4°
允許樣品尺寸	圓形樣品直徑Φ120mm，矩形樣品可達(dá)120mm x 160mm
配套軟件	* 用戶權(quán)限設(shè)置 * 多種測量模式選擇 * 多個(gè)測量項(xiàng)目選擇 * 方便的數(shù)據(jù)分析、計(jì)算、輸入輸出
較大外形尺寸	（入射角度70°時(shí)）550375260mm
儀器重量（凈重）	約15Kg
選配件	* 半導(dǎo)體激光器