CSC系列半導(dǎo)體材料電學(xué)測量系統(tǒng)
CSC系列半導(dǎo)體材料電學(xué)測量系統(tǒng)是基于Partulab CPS系列低溫真空探針臺和Keithley 4200-CSC半導(dǎo)體參數(shù)分析集成設(shè)計(jì)而成，是一款常溫或高低溫條件下測量有機(jī)半導(dǎo)體器件、納米器件及薄膜材料電學(xué)性能測量的綜合性測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)-160℃-400℃、空氣和真空條件下的半導(dǎo)體器件和材料電壓-電流（I-V）測量、超快脈沖電壓-電流（I-V）測量、電容-電壓（CV）測量、DLCP測量、電阻（RT）和電阻率（ρT）測量、Hall電壓測量等，廣泛就用于高校、科研、航空航天、院所等領(lǐng)域，是目前科研教學(xué)表征和測量半導(dǎo)體器件和薄膜材料的較佳綜合測量系統(tǒng)。
測試原理：
CSC系列半導(dǎo)體材料電學(xué)測量系統(tǒng)主要由Partulab CPS-7000低溫真空探針臺、Keithley 4200-CSC半導(dǎo)體參數(shù)分析儀和LVRMeaskit直流低溫電阻測量套件組成。系統(tǒng)配備Lakeshore336溫控儀可以與Keithley 4200-CSC和keysight B1500A半導(dǎo)體參數(shù)分析儀無縫連接，直接可以在半導(dǎo)體參數(shù)分析儀實(shí)現(xiàn)器件和材料的變溫電學(xué)測量，無需客戶再編寫應(yīng)用程序，大大節(jié)約器件和材料研發(fā)時(shí)間。
樣品溫度準(zhǔn)確性和溫度穩(wěn)定性是整個低溫系統(tǒng)的關(guān)鍵，系統(tǒng)配置3個低溫傳感器，一個在樣品臺上，一個在屏蔽罩上，一個在探針臂上，通過監(jiān)測三個地方的溫度，確保可以提供一個準(zhǔn)確地控溫環(huán)境。為了避免探針臂的溫度傳送到樣品上，導(dǎo)致樣品溫度高于樣品臺溫度，探針臂和探針必須做熱沉處理。
Partulab CPS系列低溫真空探針臺
配置：
CPS-7000低溫真空探針臺（二選一）
--4軸或6軸液氮/液氦開環(huán)低溫探針臺
--Lakeshore 336溫控儀及傳感器
CPS-8000低溫真空探針臺（二選一）
--4軸或6軸GM制冷機(jī)閉環(huán)低溫探針臺
-Lakeshore 336溫控儀及傳感器
PPS-90真空輔助系統(tǒng)
--包含分子泵機(jī)組、真空閥門、真空測量
VSZ70KIT 可視化視覺系統(tǒng)
--7:1變焦、彩色CCD、同軸環(huán)形光可調(diào)電源
技術(shù)規(guī)格：
探針臂個數(shù)：4個或6個
測量溫度：-160℃~400℃/10k~675k
降溫時(shí)間：~45min to 110k AC
真空度：~106mbar
較大樣品尺寸：≤51mm
可視系統(tǒng)：7:1變焦，彩色CCD，同軸環(huán)形光可調(diào)電源
碳化鎢探針夾具阻抗：50Ω
電壓測量：1μV~200V，分辨率1μV
電流測量：100fA~1A，較小分辨率100fA
阻抗測量：1kHz至10MHz
測量參數(shù)：C電容
C-V測量的電壓：內(nèi)置±30V DC偏置裝置
XYZ位移平臺行程：X軸51mm，精度20μm；Y軸25mm，精度10μm；Z軸25mm
會員1.png)
QQ:2568841715
