CPS-7000低溫真空探針臺
CPS-7000系列液氮/液氦低溫真空探針臺是Parutulab佰力博公司匠心打造的一款低溫電學測量綜合性平臺,是一種利用液氮/液氦快速制并為半導體晶圓片、器件、材料(薄膜、納米、石墨烯、電子功能材料、超導材料、導電材料)等提供一個真空和低溫測量環境下進行非破壞性的電學表征和測量平臺。該低溫真空探針臺可以對半導體材料進行電學測量(IV、CV、DC高阻、DC低阻、RF和微波、光電效應等),廣泛應用于高校、科研、航空航天、院所等領域,是低溫薄膜材料電學測量殺手利器。
配置:
--液氮/液氦低溫探針臺
--4軸或6軸XYZ位移平臺
--VSZ70可視化視覺系統
--PPS-90真空輔助系統及真空閥門、測量控制
--LNP95液氮傳輸系統
--可選SRS溫控儀/Lakeshore溫控儀及傳感器
--可選不同電學測量功能套件
技術規格:
溫度范圍:80K-475K(液氮制冷),4.2K-475K(液氦制冷);
選配低溫選件后,溫度可降低到3.2K;選配高溫選件,溫度范圍為20K-675K;
控溫穩定性:±50mK;制冷劑消耗:<1.5Lhr@LHe <0.5L/hr@LN2;
降溫時間:液氦~30min to10K,~60min to 5K;液氮~45min to 110K,~60min to 80K;
較大測試樣品尺寸:直徑51mm;
XYZ位移平臺行程與精度:X軸51mm,精度20μm;Y軸25mm,精度10μm;Z軸25mm,精度10μm;
頻率范圍:測量DC到67GHz;真空環境:~10-5-10-6mabr;
頂部光學觀察窗:標準2.0‘’(51mm);
4個直流探針臂,較多可使用6個探針臂,每個探針臂上配有三同軸接頭及配套電纜