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*的聚焦離子束電子束雙束電鏡(FIB);是在場發射電鏡基礎上加離子槍、氣體注射系統、納米操作手等,可在微觀照相的功能上拓展為對納米材料的刻蝕加工、減薄、離子注入、沉積等,是納米材料研究和應用中日益重要的工具。
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