測量原理
熒光 X 射線上由在原子軌道上的電子受到比其能量狀態高的激發源 X 射線照射而產生的。激發源 X 射線與原子軌道上的電子發生碰撞使其脫離軌道,出現空位時,整個原子既處于不穩定狀態,而外層較高能量軌道上的電子則會為了空位而移動軌道。此時,軌道間的能量便會產生 X 射線。產生的熒光 X 射線具有光素固有的能量,因此也被稱為固有 X 射線。
當硫磺(元素符號 S ) 原子的 K 層電子脫離軌道、電子從 L 層移動過來時所產生的固有 X 射線的大部分稱為具有 2.31KeV 能量的 S-Kα 射線,一部分稱為具有 2.46KeV 能量的 S-K 阝射線。
反應所產生的固有 x- 射線的光子數量與試樣中的原子數量成比例,因此通過對光子的計數就能夠得知試樣中目標元素的重量濃度。
為了定量分析特定物質,在此對以各種不同能量進入檢測器的上述各種元素的固有 X 射線按能量進行判別區分,并給出能量譜圖。