INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BCG450型電容式膜片真空計將三大不同技術的優勢融合在一個單個、緊湊和經濟的可以測量 5×10-10 到 1500 毫巴(3.75×10-10 到 1125 托)的過程壓力和基準壓力的工具包里。 BCG450型電容式膜片真空計的設計旨在替代三個傳感器(熱離子、熱量增強型皮拉尼和真空開關),從而節省成本和寶貴的工具空間。

益處
? BCG450 可節省成本和工具空間,降低真空測量安裝與設置的復雜性
? 10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制,能夠對任何氣體混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
? 皮拉尼聯鎖保護熱絲,防止過早燒毀
? 高真空皮拉尼自動調節,減少操作員干預
? 大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
? 易于更換的傳感元件與板載校準數據確保再現性
? 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
? RoHS 合規
典型應用
? 半導體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
? 工業鍍膜
? 低真空和超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制