系統:

◆測量功能：精密測量各種反射面和光學系統的表面面形、精密測量光學系統的傳輸波前

◆測量技術：機械相移干涉測量（PSI）

◆校準系統 ：快速條紋采樣系統(QFAS) (雙光點定位于十字線)

◆測量光束直徑 ：4″（102mm）或6″（152mm）

◆對準視場范圍FOV ：4″：±3°；6″：±2°；

◆光學中心線 ：4.25″（108mm）

◆激光光源：大功率穩頻氦-氖激光，III

◆波長： 633 nm

◆頻率穩定度： < 0.0001 nm

◆相干長度 ：＞100m

◆成像分辨率 ：1000 x 1000 像素

◆幀速 ：43Hz

◆數據采集時間 ：302ms

◆數據模式： 8位

◆放大 ：電控數顯放大1-5X

◆偏振 ：接近圓偏振（1.2：1或者更好）

◆光曈調焦范圍： 4″：±2.5m；6″：±5.5m；

◆計算機和軟件 ：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO軟件MetroproTM X和MetroproTM 9

◆安裝構造 ：水平臥式或垂直立式

◆附件 ：詳細參考ZYGO 激光干涉儀附件向導文件，OMP-0463

◆尺寸(長x寬x高)： 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）

性能參數：

◆RMS重復性： < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

◆RMS波前重復性：< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)

◆像素峰值偏差：< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

工作環境：

◆溫度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)

◆溫度變化率： ＜1.0°C/15min

◆濕度:相對濕度5% - 95% , 無凝結

◆隔振:機械移相測量模式推薦使用被動隔振系統。