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近日，位于蘇州工業園區的某國內企業完成了商業化熱氣泡式噴墨打印頭產品開發。該產品打印分辨率達1200dpi，即將投入市場。據了解，該產品芯片由蘇州微納制造中試線加工。
蘇州微納制造中試線是國內全開放、市場化運營的中試平臺，在熱氣泡式噴墨打印頭產品加工過程中，憑借*優勢的工藝模塊和相關核心技術，成功幫助該客戶實現了科研級、工業級熱氣泡式噴墨打印頭的工藝開發，為客戶提供了可批量生產的噴墨頭產品。
據蘇州微納制造中試線介紹，熱氣泡式噴墨打印頭加工工藝，涉及高性能電阻薄膜制備、異型孔DRIE刻蝕、高精度高均勻性噴射結構制備等關鍵技術，其中包含微結構加工工藝、釋放工藝、犧牲層材料工藝、結構層材料工藝等多種工藝模塊。蘇州微納制造中試線完成了高均勻性電阻薄膜沉積、低溫低應力PECVD薄膜沉積、犧牲層釋放、噴孔結構層制備、有機材料層刻蝕及釋放、高深寬比異型孔深硅刻蝕等多種新工藝和特殊工藝的開發，以及可用于噴墨頭產品的工藝集成技術的開發。
據了解，基于MEMS制造工藝的熱氣泡式噴墨打印頭進一步提高了噴墨印刷的效率和水平，為制造更低成本、更高性能噴墨打印頭提供了思路，在紡織品印刷、噴繪印刷、陶瓷打印以及3D打印等工業應用領域具有廣闊市場前景。
據麥姆斯咨詢透露，法國市場研究機構Yole預測，2021年MEMS噴墨打印頭市場將增長至10億美元，其中辦公、商業和工業打印市場規模預計達3.65億美元。
噴墨打印技術是工業4.0智能制造領域的關鍵共性核心技術之一。以噴墨打印為基礎的數碼制造技術對紡織、生物醫療、工業、能源、電子、和建筑等行業具有變革性的影響。據了解，我國工業噴墨打印頭市場主要被國外品牌所壟斷，目前國內具有自主知識產權噴墨打印頭企業和科研機構已加大科研攻關力度，打造后發優勢，推動中國噴墨打印技術的研究與產業化，搶占我國巨大的應用市場機遇。
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