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索尼的柔性電子紙利用印刷技術制作TFT

2012-07-13 10:53:54日經BP社閱讀量:875 我要評論


  在目前發布的柔性電子紙中,索尼開發的13.3英寸有機TFT驅動產品受關注。該產品為單色顯示,采用了中國臺灣EInk Holdings的電子紙。像素為2130×1596,像素尺寸為127μm×127μm,分辨率為200dpi。開口率為82%。
  
  有機TFT的半導體層采用被稱為“PXX衍生物”(peri-Xanthenoxanthene)的自主開發的有機材料。載流子遷移率約為0.5cm2/Vs。
  
  開發品的特點是其中的有機TFT是利用印刷技術制作的。對每層有機TFT,分別使用了平板膠印、旋涂及狹縫涂布3種印刷技術。僅用平板膠印法形成的是表面保護膜。像素電極在以濺射法成膜后,又用平面膠印形成了感光性樹脂。有機半導體層用狹縫涂布法、柵極絕緣膜和層間絕緣膜用旋涂法成膜后,再利用普通光刻法形成圖案。
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